苏报讯（驻高新区记者 刘晓平 顾玲 通讯员 轲晓渚）近来，姑苏高新区企业天准科技参股的姑苏矽行半导体技能有限公司完结国产半导体高端检测设备新打破，其面向40纳米技能节点的明场纳米图形晶圆缺点查验测验设备TB1500完结厂内验证。

  缺点检测设备作为确保芯片质量、下降出产所带来的本钱、推动工艺迭代的重要东西，在芯片出产流程中不可或缺，具有更高检测精度、更全缺点类型覆盖率的明场缺点查验测验设备遭到职业喜爱。

  据悉，为满意40纳米技能节点的工艺制程需求，TB1500提高了光源亮度和感度，增大了物镜视界和速度，可以捕捉更小缺点尺度。TB1500中心中心部件悉数完结自主可控，一起运用先进的信号处理算法，有用提高信噪比和检测灵敏度。此次TB1500完结厂内验证，是我国半导体前道缺点查验测验配备工业的又一次严重打破。

  姑苏矽行半导体技能有限公司会聚了来自国内外闻名半导体设备公司、晶圆代工厂、上市公司和研究机构的顶尖人才，逐渐打破外商对缺点检测商场的独占。公司另一款产品——面向28纳米技能节点的TB2000设备发展顺畅，各中心零部件均已完结开发，方案于今年末发布样机。

  姑苏天准科技股份有限公司成立于2005年，坐落太湖科学城功用片区，专心于机器视觉技能的研制、使用、推行。公司是科创板首家工业视觉配备上市公司、国家高新技能企业、国家专精特新“小伟人”、国家严重科学仪器设备开发专项牵头承当单位、工信部智能制作体系解决方案供货商。公司建有国家级企业技能中心、国家博士后科研工作站、省工程技能讨论研究中心、省研究生工作站。